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产品名称:ESS03波长扫描式光谱椭偏仪

产品型号:ESS03

产品品牌:

ESS03是针对科研和工业环境中薄膜测量领域推出的波长扫描式高精度多入射角光谱椭偏仪,此系列仪器的波长范围覆盖紫外、可见、近红外、到远红外。

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技术指标:

项目

技术指标

光谱范围

ESS03VI:370-1700nm

ESS03UI:245-1700nm

光谱分辨率(nm)

可设置

入射角度

40°-90°手动调节,步距5,重复性0.02

准确度

δ(Psi): 0.02 ° ,δ(Delta): 0.04° 

(透射模式测空气时)

膜厚测量重复性(1)

0.05nm (对于平面Si基底上100nm的SiO2膜层)

折射率n测量重复性(1)

0.001 (对于平面Si基底上100nm的SiO2膜层)

单次测量时间

典型0.6s / Wavelength / Point(取决于测量模式)

光学结构

PSCA(Δ在0°或180°附近时也具有极高的准确度)

可测量样品最大尺寸

直径200 mm

样品方位调整

高度调节范围:10mm

二维俯仰调节:±4°

样品对准

光学自准直显微和望远对准系统

软件

•多语言界面切换

•预设项目供快捷操作使用

•安全的权限管理模式(管理员、操作员)

•方便的材料数据库以及多种色散模型库

•丰富的模型数据库

选配件

自动扫描样品台

聚焦透镜

    注:(1)测量重复性:是指对标准样品上同一点、同一条件下连续测量30次所计算的标准差。

可选配件:

          NFS-SiO2/Si二氧化硅纳米薄膜标片

          NFS-Si3N4/Si氮化硅纳米薄膜标片

          VP01真空吸附泵

          VP02真空吸附泵

          样品池