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产品名称:1200℃滑动式三温区

产品型号:CVD-12IIIH-3Z/G(CVD-12III9H-3Z/G)

产品品牌:

此款CVD系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结,真空淬火退火,快速降温等工艺实验。

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技术参数

产品名称

1200℃滑动式三温区CVD系统

系统型号

CVD-12IIIH-3Z/G

CVD-12III9H-3Z/G

最高温度

1200℃

加热区长度

655mm

940mm

恒温区长度

500mm

700mm

温区

三温区

三温区

石英管管径

Φ50/Φ60/Φ80

Φ80/Φ100/Φ120

额定功率

4.8Kw

7.2Kw

额定电压

220V

380V(三相)

滑动距离

507mm

650mm

滑动方式

自动滑动/手动滑动

温度控制

国产程序控温系统50段程序控温

控制精度

± 1℃

炉管最高工作温度

< 1200℃

气路法兰

本实用新型在密封法兰与管件链接的地方采用多环密封技术,在密封法兰与管件外壁间形成了密封,在管件外径误差较大的情况下密封仍然有效,该密封法兰的安装只需在第一次使用设备的时候安装

气体控制方式

质量流量计

气路数量

3路(可根据具体需要选配气路数量)

()

流量范围

0-500sccm(标准毫升/分,可选配)氮气标定

精度

± 1%F.S

响应时间

≤ 4sec

工作温度

5-45℃

工作压力

进气压力0.05-0.3Mpa(表压力)

系统连接方式

采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪

规格

中真空

高真空

系统真空范围

10pa-100pa

1×10-3pa-1×10-1pa

真空泵

双级机械泵理论极限真空度3x10-1pa,抽气速率4L/S,

真空分子泵理论极限真空度5x10-6pa,

出气口配有油污过滤器,额定电压220V,功率0.55Kw

抽气速率1600L/S额定电压220V,功率2Kw

炉体外形尺寸

360× 815 ×555mm

系统外形尺寸

530*1440*750mm

530*1440*750mm(不含高真空)

系统总重量

255Kg

355Kg