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椭偏仪应用广泛

发表时间:2017-08-12 浏览量:24
    椭偏仪应用广泛 在线监测薄膜的厚度,对成品率无疑至关重要。然而保鲜膜在传送带上的速度堪比百米飞人博尔特,检测时间又以秒计,其难度可想而知。如此艰巨的任务,椭偏仪将如何完成呢?
    在工程师的帮助下,椭偏仪与流水线巧妙地融为一体:
    借助HORIBA先进的数据库和算法,椭偏仪每2秒即可进行一次精确的膜厚测量,可以实时跟踪喷涂量对膜厚的影响:
    椭偏仪还可以实时跟踪石墨烯的沉积过程。
    作为半导体科研事业的两大主角:光电器件与光伏电池的关系自是不一般。上节课说过,椭偏仪如今已是光电器件领域的小红人;那么接下来它与光伏电池的合作自然顺理成章。
    今天我们就来唠唠椭偏仪与光伏电池间的那点事儿。
    太阳能硅电池表面层肩负导电、增透两大关键任务,直接影响硅电池基本性能。通过准确提供硅电池表面层的结构、光学性质和电导率等信息,椭偏仪成为硅电池工艺优化的坚强后盾。
    首先椭偏仪可以直接获取渐变层的厚度以及表面粗糙度信息,如粗糙层532埃、SnO2 6582埃、SiCxOy 256埃。
    与此同时椭偏仪可以获取渐变层SnO2 顶部和底部的光学性质:下图直观表示出SnO2 顶部和底部折射率及吸光系数随波长变化发生的改变:利用这组数据,我们可以进一步解析出表面层的减反射性质、载子浓度和电导率等等信息。
    如果你以为椭偏仪只能表征SnO2 层,未免太看轻它了。穿透顶层,测得底部非计量比SiCxOy层的光学性质,这更是椭偏仪的拿手好戏
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