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椭偏仪应用
点击次数:459次    发布时间:2016-8-25

激光椭偏仪

激光椭偏仪是利用单色性极好的激光作为探测光波对样品进行倾斜照射,光波经样品表面反射后偏振态发生化,利用合适的采样方法可以得到这种偏振态调制信息,然后根据样品结构和物理特征建立样品的物理模型,通过数据分析就可以得到样品的信息。

激光椭偏仪具有非接触无扰动、可达原子层量级的测量灵敏度、几乎适用于任何材料、且对使用环境要求低等优点。与光谱椭偏仪相比,具有两个特点:(1)对材料的光学常数的测量更精确:这是由激光的窄带单色性质决定的,激光带宽通常远小于1nm,因此能够更准确地获得激光波长下的材料参数。(2)可对动态过程进行快速测量:激光良好的方向性使得其强度非常高,因此非常适合对动态过程的实时测量。

激光椭偏仪可用于测量的样品包括:

块状材料:

块状材料包括固体、液体。
激光椭偏仪可测量激光波长下固体表面的光学性质,包括折射率n和消光系数k。

纳米薄膜层构材料:

纳米薄膜层构材料是指由纳米薄膜在基底材料上层叠而成的材料形式,可以是单层或多层。
激光椭偏仪可测量纳米薄膜的层构特性(如,膜层厚度)和物理特性(如,在激光波长下的折射率n、消光系数k,或介电函数)。激光椭偏仪最常用的场合是测量单层膜样品,可同时测量两个未知参数,如折射率n和膜厚th。也可测量多膜层中的两个未知参数。

激光椭偏仪可应用的场合包括:

离线测量:可静态测量样品的特性;

实时测量:可根据设定的时间间隔,对样品的动态变化过程进行动态采样,获得样品的生长曲线。

激光椭偏仪可应用的领域包括:可应用于固体材料表征及纳米薄膜相关的多个领域,包括光伏新能源领域、先进材料领域、新一代信息技术领域、生物产业领域、健康保障体系、环境保护领域、载人航天领域等,应用涉及物理学、电化学、生物学、医学、信息学、冶金等学科,具体包括:太阳能电池、半导体、集成电路、生物膜、聚合物薄膜、相变存储器等。

需要注意的是:在以上描述的应用场合中,要实现某个特定的测试要求,一定要选择达到一定技术指标的激光椭偏仪,如:测量精度、准确度、测量速度、测量稳定性等。就目前应用情况来看,对于不熟悉激光椭偏仪的客户来说,量拓科技建议最好的选择是找到真正了解自己应用需求的,并且对椭偏仪器性能参数非常了解的专家。量拓科技在客户激光椭偏仪的应用选型方面具有很强的专业基础,可以为客户的选型提供客观的、有建设性的参考意见。

量拓科技目前主要提供以下激光椭偏仪:

  • ELLITOP多入射角激光椭偏仪EMPro系列:提供了目前国际椭偏测量领域内最高的测量精度和准确度,可满足极高精度要求的场合。
  • ELLITOP多入射角激光椭偏仪EM系列:提供了目前国内椭偏测量领域最高的测量精度和准确度,可满足中端精度需求的场合
  • ELLITOP在线薄膜测量系统ETMapSys系列:提供了目前国内唯一的在线测量系统,可满足大面积纳米薄膜的测量需求。

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