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椭偏仪测量薄膜厚度,该如何选型?
来源:网络转摘    作者:admin    点击次数:195次    发布时间:2017-5-15

椭偏仪测量薄膜厚度,该如何选型?
Q: 现在市场上有光谱椭偏仪、激光椭偏仪、反射膜厚仪都是用来测量膜厚的,有何区别?
A: 根据应用不同进行区别。反射膜厚仪一般用于测量单层膜的膜厚,速度快;激光椭偏仪一般用于测量单层膜的膜厚及光学性质,速度快精度高;光谱椭偏仪则用于多层膜的膜厚及光学性质的测量。
Q:我看到光谱椭偏仪有不同的波段,如何选择合适的波段?
A:光谱椭偏仪从深紫外到红外段都有涉及,不同的型号偏重不同的应用。
波长选择原则:根据研究或测试的材料特性来确定光谱范围
A:对于透明材料,考虑关心的折射率光谱区域
B:对于短波吸收、长波透明材料,如果关心吸收区域折射率及膜厚可扩展到红外透明区域来先确定薄膜厚度,然后求解折射率
Q: 是否应该考虑多角度入射选项?
A: 多角度测量增加可靠性,但不是总有必要
多角度最适用于以下几种场合: 多层膜结构 、吸收膜、 各项异性膜 、光学常数沿厚度梯度分布的膜等.现在的椭偏仪已经非常智能方便了,可以手动调节角度,也可以通过电机控制。并且两个臂可以分别单独调节。
Q: 国内品牌和国外品牌对比有和区别?
A: 一般体现在测量的重复性和准确度上,如果针对同一个样品,测量的误差应该控制的很小的范围。另外就是对新材料模型的建立,建一个新材料的模型,没有十几年的经验是无法胜任的。
Q: 椭偏仪能否集成在我的工艺设备上?
A: 可以,根据不同的需求,选择不同的型号。

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