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1200℃预加热滑动双温区
点击次数:434次    发布时间:2016-12-22

产品名称: 1200℃预加热滑动双温区

产品用途

   PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。

PECVD系统配置

Ø 1200度开启式双温区真空管式炉。

Ø 滑动系统分为手动,电动滑动,并配置管内测温系统。

Ø 预加热开启式管式电炉。

Ø 等离子射频电源。

Ø 多路质量流量控制系统。

Ø 真空系统(可选配中真空或者高真空)。

产品特点

     生长温度低、沉积速率快、成膜质量好、适用范围广、设备简单

 

PECVD系统-1200℃预加热滑动双温区

 

 

系统名称

1200℃预加热滑动双温区PECVD系统

系统型号

PECVD-Y12IIH-3Z/G

PECVD-Y12II6H-3Z/G

最高温区

1200℃

加热区长度

420mm

610mm

恒温区长度

280mm

400mm

温区

双温区

双温区

石英管管径

Φ50/Φ60/Φ80

Φ80/Φ100

额定功率

3.2Kw

4.8Kw

额定电压

220V

220V

滑动方式

自动滑动/手动滑动

温度控制

国产程序控温系统50段程序控温

控制精度

± 1℃

炉管最高工作温度

 1200℃

气路法兰

本实用新型在密封法兰与管件链接的地方采用多环密封技术,在密封法兰与管外壁间形成了密封,在管件外径误差较大的情况下密封仍然有效,该密封法兰的安装只需在第一次使用设备的时候安装

预加热最高温度

1200℃

预加热加热区长度

300mm

预加热恒温区长度

160mm

额定功率

1.2KW

额定电压

220V

温度控制

国产程序控温系统50段程序控温

控制精度

± 1℃

气体控制方式

质量流量计

气路数量

3路(可根据具体需要选配气路数量)

流量范围

0-500sccm(标准毫升/分,可选配)氮气标定

精度

± 1%F.S

响应时间

≤ 4sec

工作温度

5-45℃

工作压力

进气压力0.05-0.3Mpa(表压力)

系统连接方式

采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪

规格

中真空

高真空

系统真空范围

10pa-100pa

1×10-3pa-1×10-1pa

真空泵

双极机械泵理论极限真空度3x10-3pa,抽气速率4L/S,出气口配有油污过滤器,额定电压200V,

功率0.55Kw

   真空分子泵理论极限真空度5x10-6pa,抽气

速率1600L/S,额定电压200V,功率2Kw

信号频率

13.56MHz ± 005%

功率输出范围

5W-500W

最大反射功率

200W

射频输出接口

50Ω,N-type,temale

功率稳定度

± 0.1%

谐波分量

≤ -50dbc

供电电压

单相交流(187V-253V)频率50/60HZ

整机功率

≥ 70%

屏幕显示

正方向功率,匹配器电容位置,偏置电压值

整机尺寸

483*500*88mm

炉体外形尺寸

340×580×555mm

480×770×605mm

系统外形尺寸

530*2310*750mm

530*2310*750mm(不含高真空)

系统总重量

300Kg

380Kg


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